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光氧催化的工作原理：利用特制的高能高臭氧 UV 紫外线光束照射废气，裂解工业废气使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物。利用高能高臭氧 UV 紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。
众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对工业废气及其它刺激性异味有立竿见影的光氧效果。工业废气利用排风设备输入到本净化设备后，净化设备运用高能 UV 紫外线光束及臭氧对工业废气进行协同分解氧化反应，使工业废气物质其降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。利用高能-C 光束裂解工业废气中光氧的分子键，破坏光氧的核酸（ DNA )，再通过臭氧进行氧化反应，达到净化及杀灭光氧的目的。
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